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萊森光學(xué)色散共焦光譜位移傳感器集成了先進(jìn)光譜分析和共焦成像技術(shù)的高精度位移和厚度的最新測(cè)量工具。實(shí)現(xiàn)了納米級(jí)精度的位移和厚度測(cè)量,可對(duì)樣品表面微小變化的進(jìn)行精確測(cè)量。
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