1.透反射

透射/反射光譜是材料本身的一項(xiàng)重要光學(xué)特性，在現(xiàn)今工業(yè)蓬勃發(fā)展的背景下，對(duì)材料本身特性的質(zhì)量控制越來越嚴(yán)格，從而利用光譜儀進(jìn)行快速準(zhǔn)確的反射光譜/透射光譜的測量技術(shù)也開始日漸成熟。

1.1原理知識(shí)

在透過率測量時(shí)，象素n上的透過率是用當(dāng)前樣品、參考和背景數(shù)據(jù)按下面方程計(jì)算出來的：

式中T-----------透過率

Sample-----------樣品透過強(qiáng)度值

Ref------------參考樣片透過強(qiáng)度

Dark-----------背景數(shù)據(jù)

透過率的百分比在數(shù)學(xué)上與反射率是一樣的，所以同樣可以用于反射實(shí)驗(yàn)，反射測試中ref為參考板反射強(qiáng)度（如果需要測量絕對(duì)反射率值，需要在式中乘以系數(shù)C，C為參考反射板在每個(gè)波長的絕對(duì)反射率值）。

2.1應(yīng)用背

透射/反射光譜儀系統(tǒng)具有測量快速，準(zhǔn)確，方便集成等優(yōu)點(diǎn)，目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用到實(shí)驗(yàn)室檢測、產(chǎn)品在線測試等應(yīng)用。目前的主要應(yīng)用在：

高分子材料反射/透射測試

建筑玻璃 反射/透射測試

在線 反射/透射測試

光伏壓花玻璃 透射測試

干涉濾光片 透射測試

薄膜樣品 反射/透射測試

各種晶體、塑料、紡織品等反射測試

平板、LCD、背光板、手機(jī)/平板油墨孔等透射測量?

3.透射/反射測量及常用配置

3.1透射測量

萊森光學(xué)的透過率光譜系統(tǒng)進(jìn)行透過率測量時(shí)，一般采用積分球測量方式。積分球具有非常好的空間反射特性，透射光經(jīng)過多次反射后會(huì)變得非常均勻，測結(jié)果穩(wěn)定，重復(fù)性好，同時(shí)積分球良好的光學(xué)特性，使在測試不同性質(zhì)的樣品時(shí)都可以得到準(zhǔn)確的測量結(jié)果。

圖3-1 透過率光路示意圖

這種光路多用于實(shí)驗(yàn)室內(nèi)或工業(yè)在線測試；這種光路配置不需要接觸樣品表面，搭建方便，對(duì)樣品形狀沒有嚴(yán)格要求，測試方便快速，搭配定制光學(xué)附件可應(yīng)用于高溫的產(chǎn)線環(huán)境，既適用于在線測試，也適用于實(shí)驗(yàn)室測量；對(duì)于有些特殊測量，如以不同入射角照射樣品，測量材料透射比的變化情況，或者當(dāng)測試樣品具有不同的表面特性時(shí)，如光伏壓花玻璃、平板油墨孔、OLED等光學(xué)玻璃可以定制專用角度光學(xué)鏡頭及附件以不同角度用到積分球的方式進(jìn)行測試。

3.2反射測量

圖3-2 反射率光路示意圖1

圖3-3 反射率光路示意圖2

使用萊森光學(xué)的iSpec-TMS100-IND光譜系統(tǒng)反射率測量，一般采用反射積分球測量光路，反射積分球內(nèi)表面是完美的漫射體，具有非常均勻的空間反射特性，反射光在內(nèi)表面經(jīng)過多次反射后變得十分均勻，而且光強(qiáng)隨之衰減；具有測量穩(wěn)定，重復(fù)性好，結(jié)果準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)。

4.實(shí)驗(yàn)

4.1實(shí)驗(yàn)?zāi)康?/strong>

測量三個(gè)零件的鍍金面的反射率（反射率光譜范圍：250nm-1100nm）

鍍金件目的是需要較高的反射率用于反射光線來升高溫度形成高溫回爐，用于芯片制造

4.2實(shí)驗(yàn)儀器列表

4.3實(shí)驗(yàn)內(nèi)容

按圖3-2示意圖搭建光路，在外部環(huán)境、光路不變的條件下，更換測試樣品以及樣品的測試面，測試不同樣品光譜范圍在250-1000nm的反射率，實(shí)際搭建光路如圖4-1所示。

圖4-1  反射率測試實(shí)驗(yàn)實(shí)際光路圖

4.4實(shí)驗(yàn)結(jié)果

使用反射積分球測試方式測得反射率數(shù)據(jù)對(duì)比圖如下所示

5.結(jié)論

1.反射積分球方法測量得到的數(shù)據(jù)很穩(wěn)定，樣品在600nm波長后整體的反射率較高

2.作為對(duì)比組的反射探頭測量方法，測量的數(shù)據(jù)波動(dòng)較多，且在測量時(shí)會(huì)出現(xiàn)近距離容易過曝，原距離容易光斑范圍大過樣品和參考平面鏡的問題。